ZrON^?低溫溫度計

ZrON^?低溫溫度計不僅具有靈敏度高、熱響應(yīng)快、工作溫區(qū)范圍大、熱循環(huán)重復(fù)特性好和機(jī)械強(qiáng)度高等特性，還具有低磁阻、耐輻照和年漂移量小等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于低溫/超低溫系統(tǒng)、超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、加速器、對撞機(jī)、同步輻射源、先進(jìn)光源、中子源、高能物理、天文望遠(yuǎn)鏡、宇宙微波背景輻射探測和量子計算等領(lǐng)域。

ZrON^?低溫溫度計的溫度傳感單元是磁控反應(yīng)濺射生長的ZrON薄膜，通過調(diào)節(jié)磁控反應(yīng)濺射中氮氧化物比例和生長溫度來調(diào)節(jié)ZrON薄膜的溫度響應(yīng)范圍，結(jié)合先進(jìn)的光刻技術(shù)和封裝工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)從100mK-425K溫度范圍的全覆蓋。

ZrON^?低溫溫度計有SD、Bobbin和Can三種標(biāo)準(zhǔn)封裝，根據(jù)阻值范圍和工作溫區(qū)的不同分為ZrON-10，ZrON-50，ZrON-70和ZrON-80四款，典型溫度準(zhǔn)確性：±5mK@1K；±5mK @4.2K，±15mK@77K，±50mK@300K。

ZrON-10低溫溫度計典型阻值溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差(ΔT/T%)

ZrON-10，CX-1010， CX-1050三種溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差(ΔT/T%)對比

ZrON-50，70和80三種溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差(ΔT/T%)

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型阻值溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線

ZrON^?低溫溫度計的三種標(biāo)準(zhǔn)封裝

SD封裝	Bobbin封裝	Can封裝
質(zhì)量：25mg 氣密性陶瓷封裝 超高真空兼容 尺寸：2mm×3.2mm×1.2mm 兩根鍍金銅引腳	低磁阻 質(zhì)量：1.0g(不包括引線) Bobbin封裝 尺寸：直徑8mm，高度5mm 兩對四色線(紅、綠、自然和藍(lán))，36AWG磷青銅雙絞，長度1 米， 聚酰亞胺絕緣層	低磁阻 質(zhì)量：0.38g(不包括引線)  Canister封裝 尺寸：直徑3mm，長度：8mm 兩對四色線(紅、綠、自然和藍(lán))，36AWG磷青銅雙絞，長度1米，聚酰亞胺絕緣層